半导体器件测试 平台具备短波红外探测器件的电学与光电性能测试能力,支持器件研发、工艺验证及可靠性评估; 支持IV、暗电流、光电流、开启电压、噪声等关键电学参数测试,评估器件漏电水平与界面质量; 支持EQE、响应度、探测率、光谱响应及响应时间测试,满足器件性能分析与工艺优化需求。